名稱

型號

主要技術(shù)參數(shù)

主要用途

射頻功率源

RF500W

1、輸出功率大于500W，由0-500W可任意調(diào)節(jié)。

2、輸出頻率13.56MHz，頻率穩(wěn)定度±0.005%。

3、輸出阻抗：50Ω。

4、電源~220V±10，50Hz。

5、環(huán)境溫度-10~+500C，相對濕度≤80%。

6、自動調(diào)諧兼容由開關(guān)功換，指示燈指示，匹配范圍（2.7~45）Ω—j（0~70）Ω。

7、板流≥0.7A時會過流提示，≥1A會強制保護(hù)。

8、當(dāng)風(fēng)機出現(xiàn)故障時會峰嗚器報警并文字提示。

9、大功率長時間工作，主變壓器濕度超過700C時會報警，文字提示，并停止功率輸出。

10、開機4分鐘后本機在自檢中如有負(fù)載未接或接觸不良會有文字提示。

本機廣泛地應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體工藝、

真空鍍膜、工業(yè)材料加工設(shè)備（如：

磁控濺射設(shè)備、等離子清洗、等離子

濺射刻蝕、沉積、活性離子刻蝕等，設(shè)備的能源）。