名稱

型號

主要技術(shù)參數(shù)

主要用途

射頻功率源

RF1000W

1、 輸出功率大于1000W。

2、 頻率13.56MHz.。

3、 輸出阻抗 50Ω。

4、 頻率穩(wěn)定度  ±005%

5、 供電電源 220v，  50Hz。

6、 環(huán)境溫度 -10— +50℃。

7、 相對濕度≤80%

8、 匹配器，匹配范圍（2.7-45）Ω—j（0-70）Ω。

9、 開機延時5分鐘才能加高壓。

10、 連續(xù)工作時間4小時。

11、關(guān)機后繼續(xù)吹風1分鐘（自動切斷電源）。

12、 Ia≥0.7A時，過流保護電路工作。

本機廣泛的應用于，科研；半導體

工藝；真空鍍膜；工業(yè)材料加工設(shè)

備（如磁控濺射設(shè)備；等離子清洗；

等離子刻蝕）等的能源