主要指標(biāo)：

1. 電壓：0-5000V，穩(wěn)定度5×10-3/5分鐘；

2. 電壓分辨率：0—200V分辨率0.1V；200—5000V分辨率1V；

3. 陰陽級距離為0-500微米可調(diào)，精度為±1微米；

4. 極限真空5*10-7Pa；

烘烤溫度：常溫~200℃；